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薄膜製程實驗室

  負責老師

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  • 水瑞鐏老師(分機5640)

 

  特色說明

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  • 包含物理與化學氣相沉積系統,提供光電元件、感測器元件、太陽能電池等半
    導體元件之薄膜相關製程設備。

 

  實驗室位置

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  • 第一教學區第三期教學大樓ATC0103(分機5942)

 

  實驗室重要設備

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設備名稱

數量

購置金額

購置日期

加壓成型機

1

99,800

095.08.01

高溫爐

1

82,000

095.09.01

紫外光點膠系統

1

160,000

096.11.20

管式高溫爐

1

167,000

096.12.18

智慧型自動點膠機

1

99,000

097.05.20

管型爐真空管件

1

96,000

097.06.16

旋轉加熱盤

1

80,000

097.09.01

真空排氣系統

1

99,800

097.09.04

真空量測系統

1

99,800

097.09.10

基板加熱控制器

1

90,000

097.12.01

高真空閥門

1

85,000

098.02.18

製程氣體控制系統

1

75,000

098.02.18

風扇程控對流式烘箱

1

92,000

098.04.07

流體量測系統

1

135,000

098.05.01

高真空腔體

1

320,000

098.10.19

PLC可程式控制系統

1

140,000

098.11.02

濺鍍機之冷卻與基板旋轉系統

1

200,000

099.10.01

加熱管

1

359,990

099.11.12

排煙櫃

1

90,000

099.11.12

奈米薄膜電感電容電阻高精度檢測

1

230,000

099.11.26

流量質量控制系統

1

120,000

099.12.01

實驗平台工程

1

87,150

099.12.01

真空偵測系統

1

90,000

100.05.09

氮氣產生器

1

98,520

100.06.09

高頻功率放大器模組

1

189,000

103.12.24

機械幫浦

1

80,500

104.04.01

濺鍍系統電漿與冷卻套件

1

209,000

104.07.31

射頻濺鍍槍

1

475,000

105.08.29

 

 

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