負責老師
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特色說明
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- 包含物理與化學氣相沉積系統，提供光電元件、感測器元件、太陽能電池等半
導體元件之薄膜相關製程設備。
實驗室位置
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- 第一教學區第三期教學大樓ATC0103(分機5942)
實驗室重要設備
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設備名稱
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數量
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購置金額
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購置日期
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加壓成型機
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1
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99,800
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095.08.01
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高溫爐
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1
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82,000
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095.09.01
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紫外光點膠系統
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1
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160,000
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096.11.20
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管式高溫爐
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1
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167,000
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096.12.18
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智慧型自動點膠機
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1
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99,000
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097.05.20
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管型爐真空管件
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1
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96,000
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097.06.16
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旋轉加熱盤
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1
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80,000
|
097.09.01
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真空排氣系統
|
1
|
99,800
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097.09.04
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真空量測系統
|
1
|
99,800
|
097.09.10
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基板加熱控制器
|
1
|
90,000
|
097.12.01
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高真空閥門
|
1
|
85,000
|
098.02.18
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製程氣體控制系統
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1
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75,000
|
098.02.18
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風扇程控對流式烘箱
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1
|
92,000
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098.04.07
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流體量測系統
|
1
|
135,000
|
098.05.01
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高真空腔體
|
1
|
320,000
|
098.10.19
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PLC可程式控制系統
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1
|
140,000
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098.11.02
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濺鍍機之冷卻與基板旋轉系統
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1
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200,000
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099.10.01
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加熱管
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1
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359,990
|
099.11.12
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排煙櫃
|
1
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90,000
|
099.11.12
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奈米薄膜電感電容電阻高精度檢測
|
1
|
230,000
|
099.11.26
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流量質量控制系統
|
1
|
120,000
|
099.12.01
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實驗平台工程
|
1
|
87,150
|
099.12.01
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真空偵測系統
|
1
|
90,000
|
100.05.09
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氮氣產生器
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1
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98,520
|
100.06.09
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高頻功率放大器模組
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1
|
189,000
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103.12.24
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機械幫浦
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1
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80,500
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104.04.01
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濺鍍系統電漿與冷卻套件
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1
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209,000
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104.07.31
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射頻濺鍍槍
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1
|
475,000
|
105.08.29
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